The influence of deposition temperature on microstructure and corrosion resistance of ZrO x N y /ZrO 2 coatings deposited using RF sputtering

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Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2014

Ausgabe: 309

Seiten: 181-187

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2014.04.215 GOOGLE SCHOLAR