Influence of the SRO as Passivation Layer on the Microwave Attenuation Losses of the CPWs Fabricated on HR-Si

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Revista:
IEEE Microwave and Wireless Components Letters

ISSN: 1531-1309

Año de publicación: 2003

Volumen: 13

Número: 12

Páginas: 508-510

Tipo: Artículo

DOI: 10.1109/LMWC.2003.819967 GOOGLE SCHOLAR