Nitrogen Nanobubbles in a-SiOxNy Coatings: Evaluation of Its Physical Properties and Chemical Bonding State by Spatially Resolved Electron Energy-Loss Spectroscopy
- Lacroix, B.
- Godinho, V.
- Fernández, A.
ISSN: 1932-7455, 1932-7447
Datum der Publikation: 2016
Ausgabe: 120
Nummer: 10
Seiten: 5651-5658
Art: Artikel