Mechanisms of damage formation in Eu-implanted AlN
- Leclerc, S.
- Lacroix, B.
- Declémy, A.
- Lorenz, K.
- Ruterana, P.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 2012
Ausgabe: 112
Nummer: 7
Art: Artikel