Damage formation in GaN under medium energy range implantation of rare earth ions: A combined TEM, XRD and RBS/C investigation

  1. Lacroix, B.
  2. Leclerc, S.
  3. Ruterana, P.
  4. Declémy, A.
  5. Miranda, S.M.C.
  6. Lorenz, K.
  7. Alves, E.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605113197

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 1342

Seiten: 27-32

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1557/OPL.2011.995 GOOGLE SCHOLAR