Influence of the pre-treatment anneal on Co-germanide Schottky contacts

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Zeitschrift:
Materials Science in Semiconductor Processing

ISSN: 1369-8001

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 11

Nummer: 5

Seiten: 300-304

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MSSP.2008.09.014 GOOGLE SCHOLAR
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