Carbon nanotube vias fabricated by remote plasma-enhanced chemical vapor deposition

  1. Katagiri, M.
  2. Sakuma, N.
  3. Suzuki, M.
  4. Sakai, T.
  5. Sato, S.
  6. Hyakushima, T.
  7. Nihei, M.
  8. Awano, Y.
Aldizkaria:
Japanese Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-4922,  1347-4065

Argitalpen urtea: 2008

Alea: 47

Zenbakia: 4 PART 1

Orrialdeak: 2024-2027

Mota: Artikulua

DOI: 10.1143/JJAP.47.2024 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus