Caracterización óptica, química y estructural de láminas delgadas de ZrO2 y CeO2 efecto del bombardeo con iones de baja energía
- Trigo Escalera, Juan Francisco
- María José Martínez-Alesón Sanz Director
Defence university: Universidad Autónoma de Madrid
Fecha de defensa: 29 June 1998
- Fernando Rueda Sánchez Chair
- Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secretary
- Emilio José Márquez Navarro Committee member
- Carlos Andrés Prieto de Castro Committee member
- Ignacio Martil De la Plaza Committee member
Type: Thesis
Abstract
Las láminas delgadas de ZrO sub 2 y CeO sub 2 se han depositado mediante un método por doble haz de iones donde el segundo haz de iones de baja energía (20-80 eV) incide directamente sobre la película en crecimiento. Se ha relacionado la composición, estructura y constantes ópticas de las láminas con las condiciones de deposición, especialmente con la energía y flujo del segundo haz de iones. Así mismo, se ha determinado la influencia en el comportamiento de ambos materiales de pequeñas cantidades de impurezas metálicas que se incorporan en las láminas de forma inherente al proceso de deposición.