Systematic approach for high piezoelectric AlN deposition

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Revista:
Journal of Alloys and Compounds

ISSN: 0925-8388

Año de publicación: 2024

Volumen: 1008

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.JALLCOM.2024.176723 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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