SISTEMA DE CATODOLUMINISCENCIA PARA MICROSCOPIO ELECTRONICO DE BARRIDO.

Resumen

Sistema de catodoluminiscencia para microscopio electrónico de barrido.

Permite la colección y análisis parcial de la señal de catodoluminiscencia emitida por ciertas muestras cuando interaccionan con un haz de electrones en el interior de un microscopio electrónico de barrido. Consta de un espejo parabólico de revolución (1) y una gula de onda (2) para la extracción de la señal del microscopio. Una lente de vacío (5), un soporte que permite su movimiento (6) y un monocromador (14) adaptable a dos distancias focales constituyen el subsistema dedicado al análisis parcial de la señal.

Permite retirar parcialmente el sistema de recogida de fotones sin necesidad de romper el vacío de la cámara del microscopio. El sistema de colección y el de análisis están optimizados para que la relación entre los fotones que emite la muestra y los que finalmente lleguen al detector sea máxima, permitiendo analizar muestras con baja intensidad de emisión.