DETECTOR PARA MEDIR LA ENERGÍA DE ELECTRONES EN MICROSCOPIOS ELECTRÓNICOS DE BARRIDO
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Inventores/as:
- LIONEL CERVERA GONTARD
- LE�ERO BARDALLO, Juan Antonio
- CARMONA GALÁN, Ricardo
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Consejo Superior de Investigaciones Científicas
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Consejo Superior de Investigaciones Científicas
Madrid, España
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Universidad de Cádiz
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Universidad de Cádiz
Cádiz, España
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Universidad de Sevilla
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Universidad de Sevilla
Sevilla, España
ES2890176A1 (17-01-2022)
ES2890176B2 (31-10-2022)
P202030673 (01-07-2020)
Resumen
Detector para medir la energía de electrones en microscopios electrónicos de barrido.
La invención describe un detector para medir la energía de un haz de electrones (12) generados en un microscopio electrónicos de barrido, denominados SEM (1). El detector (29) es de estado sólido fabricado con dos o tres difusiones (10, 19, 20) apiladas verticalmente, formando un sensor con fotodiodos apilados verticalmente (17, 18). Cuando los electrones (12) impactan en el sensor con fotodiodos apilados verticalmente (17, 18) generan unas fotocorrientes que permiten medir de manera independiente la energía y la intensidad del haz de los electrones (12).