Separación de fases y relajación plástica en epitaxias semiconductoras de gain(n)as/gaas(001)

  1. HERRERA COLLADO, MIRIAM
Supervised by:
  1. Rafael García Roja Director
  2. David González Robledo Co-director

Defence university: Universidad de Cádiz

Fecha de defensa: 17 June 2005

Committee:
  1. Albert Cornet Calveras Chair
  2. Sergio I. Molina Secretary
  3. Mark Hopkinson Committee member
  4. María Yolanda González Díez Committee member
  5. María Bianchi Méndez Martín Committee member
Department:
  1. Ciencia de los Materiales e Ingeniería Metalúrgica y Química Inorgánica

Type: Thesis

Teseo: 293202 DIALNET

Abstract

El objetivo de la presente Tesis Doctoral es establecer parámetros de diseño para el crecimiento epitaxial mediante Epitaxia de Haces Moleculares de capas de GaIn(N) As/GaAs(001) con la finalidad de optimizar sus propiedades estructurales y , por tanto, mejorar su funcionalidad en dispositivos opto- y micro- electrónicos. Con este objetivo, se ha analizado la influencia de distintos parámetros de crecimiento tales como la temperatura de crecimiento, el espesosr de la epicapa o la composición en In y/o N en la micro.estructura de capas de GaIn(N)As mediante Microscopía Electrónica de Transmisión en modo contraste de difracción. También se ha utilizado técnicas adicionales tales como Difracción de Rayos X de Doble Cristal, Microscopía de Fuerza Atómica y Fotoluminiscencia para la caracterización de las propiedades de este sistema m,aterial. Estos análisis han permitido profundizar en el conocimiento de los procesos de relajación plástica y en la distribución de los distintos aleantes en capas epitaxiales de GaIn(N)AS/GaAs(001)