Calidad cristalina e incorporación de boro en homoepitaxias de diamante

Résumé

La presente tesis doctoral emplea la microscopía electrónica como herramienta base en el estudio y caracterización de estructuras de diamante homoepitaxial dopadas con boro. Bajo este contexto dicho escrito establece las bases teóricas que han permitido, a su vez, evidenciar: (i) la posibilidad de cuantificar/perfilar el contenido de boro en dichas homoepitaxias y (ii) relacionar la causa/efecto producia por la incorporación de átomos de boro en la calidad cristalina de las mismas. Por ello, la presente tesis doctoral supone una aportación novedosa al estudio de sistemas de diamante homoepitaxial, haciendo uso de potentes técnicas de análisis de microscopía electrónica y proponiendo nuevas metodologías basadas en éstas. Por todo ello, este trabajo de tesis supone un avance hacia la solución de cuestiones calves para el desarrollo y futura implementación del diamante como sustituto del silicio.