Transmission electron microscopy study of simultaneous high-dose C+ + N+ co-implantation into (1 1 1)Si

  1. Morales, F.M.
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  8. Piqueras, J.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 2003

Volumen: 426

Número: 1-2

Páginas: 16-30

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0040-6090(02)01284-1 GOOGLE SCHOLAR
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