Impact of methane concentration on surface morphology and boron incorporation of heavily boron-doped single crystal diamond layers

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Revista:
Carbon

ISSN: 0008-6223

Año de publicación: 2021

Volumen: 172

Páginas: 463-473

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.CARBON.2020.10.061 GOOGLE SCHOLAR
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