Cross sectional evaluation of boron doping and defect distribution in homoepitaxial diamond layers

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Zeitschrift:
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics

ISSN: 1862-6351,  1610-1642

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 8

Nummer: 4

Seiten: 1366-1370

Art: Artikel

DOI: 10.1002/PSSC.201083991 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus