Correlation of optical and photoluminescence properties in amorphous SiNx:H thin films deposited by PECVD or UVCVD

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Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 2006

Volumen: 511-512

Páginas: 103-107

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.TSF.2005.12.136 GOOGLE SCHOLAR
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