Structural characterization of high-dose C++N+ ion-implanted (1 1 1) Si

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2001

Volumen: 184

Número: 3

Páginas: 361-370

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0168-583X(01)00783-2 GOOGLE SCHOLAR