SiC thin films obtained by Si carbonization

  1. Molina, S.I.
  2. Morales, F.M.
  3. Araújo, D.
Revista:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Any de publicació: 2001

Volum: 80

Número: 1-3

Pàgines: 342-344

Tipus: Article

DOI: 10.1016/S0921-5107(00)00661-9 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus