Crystalline inclusions formed in C + N + BF2 coimplanted on silicon (111)

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Revista:
Microchimica Acta

ISSN: 0026-3672

Año de publicación: 2004

Volumen: 145

Número: 1-4

Páginas: 165-169

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1007/S00604-003-0147-5 GOOGLE SCHOLAR
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