Morphology and stress control in UHVCVD of 3C-SiC(100) on Si

  1. Pezoldt, G.J.
  2. Förster, C.
  3. Stauden, T.
  4. Cimalla, V.
  5. Morales, F.M.
  6. Zgheib, C.
  7. Mash, P.
  8. Ambacher, O.
Col·lecció de llibres:
Materials Science Forum

ISSN: 1662-9752,  0255-5476

ISBN: 9780878494422

Any de publicació: 2007

Volum: 556-557

Pàgines: 203-206

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.4028/0-87849-442-1.203 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus