Morphology and stress control in UHVCVD of 3C-SiC(100) on Si
- Pezoldt, G.J.
- Förster, C.
- Stauden, T.
- Cimalla, V.
- Morales, F.M.
- Zgheib, C.
- Mash, P.
- Ambacher, O.
ISSN: 1662-9752, 0255-5476
ISBN: 9780878494422
Ano de publicación: 2007
Volume: 556-557
Páxinas: 203-206
Tipo: Achega congreso