Simulation of quality of SiC/Si interface during MBE deposition of C on Si

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Zeitschrift:
Materialwissenschaft und Werkstofftechnik

ISSN: 0933-5137 1521-4052

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 37

Nummer: 11

Seiten: 929-932

Art: Artikel

DOI: 10.1002/MAWE.200600080 GOOGLE SCHOLAR