Fabrication of Optical Multilayer Devices from Porous Silicon Coatings with Closed Porosity by Magnetron Sputtering

  1. Caballero-Hernández, J.
  2. Godinho, V.
  3. Lacroix, B.
  4. Jiménez De Haro, M.C.
  5. Jamon, D.
  6. Fernández, A.
Zeitschrift:
ACS Applied Materials and Interfaces

ISSN: 1944-8252,  1944-8244

Datum der Publikation: 2015

Ausgabe: 7

Nummer: 25

Seiten: 13889-13897

Art: Artikel

DOI: 10.1021/ACSAMI.5B02356 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus