Comprehensive microstructural and optical characterization of the thermal stability of aluminum-titanium oxynitride thin films after high temperature annealing in air

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Revista:
Emergent Materials

ISSN: 2522-574X,  2522-5731

Año de publicación: 2021

Volumen: 4

Número: 6

Páginas: 1559-1568

Tipo: Artículo

DOI: 10.1007/S42247-021-00298-Z GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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