Room temperature deposition of highly dense TiO2 thin films by filtered cathodic vacuum arc

  1. Guillén, E.
  2. Heras, I.
  3. Llorente, G.R.
  4. Lungwitz, F.
  5. Alcon-Camas, M.
  6. Escobar-Galindo, R.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X,  0277-786X

ISBN: 9781628417241

Año de publicación: 2015

Volumen: 9558

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.2189503 GOOGLE SCHOLAR
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