Impact of the particles impingement on the electronic conductivity of Al doped ZnO films grown by reactive magnetron sputtering

  1. Jullien, M.
  2. Horwat, D.
  3. Endrino, J.L.
  4. Escobar Galindo, R.
  5. Bauer, Ph.
  6. Pierson, J.F.
Actas:
IOP Conference Series: Materials Science and Engineering

ISSN: 1757-899X,  1757-8981

Año de publicación: 2010

Volumen: 12

Número: 1

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1088/1757-899X/12/1/012006 GOOGLE SCHOLAR
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