Systematic positron study of hydrophilicity of the internal pore surface in ordered low-k silica thin films

  1. Galindo, R.E.
  2. Van Veen, A.
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  5. Falub, C.V.
  6. Balkenende, A.R.
  7. De Theije, F.K.
Revista:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Año de publicación: 2003

Volumen: 102

Número: 1-3

Páginas: 403-408

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/S0921-5107(03)00121-1 GOOGLE SCHOLAR
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