Fabrication and characterization of planarized carbon nanotube via interconnects
- Katagiri, M.
- Wada, M.
- Ito, B.
- Yamazaki, Y.
- Suzuki, M.
- Kitamura, M.
- Saito, T.
- Isobayashi, A.
- Sakata, A.
- Sakuma, N.
- Kajita, A.
- Sakai, T.
ISSN: 1540-1766
ISBN: 9781618394262
Año de publicación: 2011
Páginas: 80-81
Tipo: Aportación congreso