Carbon nanotube vias fabricated by remote plasma-enhanced chemical vapor deposition

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Revista:
Japanese Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-4922,  1347-4065

Año de publicación: 2008

Volumen: 47

Número: 4 PART 1

Páginas: 2024-2027

Tipo: Artículo

DOI: 10.1143/JJAP.47.2024 GOOGLE SCHOLAR
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