Dopaje y nanoestructuración de láminas delgadas de ZnO mediante sputtering magnetrón reactivo

Laburpena

El objetivo fundamental de esta tesis ha sido la modificación de las propiedades estructurales y ópticas de láminas delgadas de ZnO depositadas por sputtering magnetrón reactivo siguiendo dos estrategias: el dopaje con Titanio y la nanoestructuración mediante la utilización de substratos de Alúmina nanoporosa. Entre las principales aportaciones realizadas están el estudio del mecanismo de incorporación de Titanio en la estructura de ZnO y la obtención de capas nanoestructuradas de ZnO mediante un método relativamente barato como es el sputtering magnetrón reactivo, capaz de reproducir estructuras de hasta 15nm como rasgo característico fundamental. Se ha buscado principalmente la relación entre las propiedades estructurales y composición de capas basadas en ZnO y su comportamiento óptico para, finalmente, presentar un estudio comparativo entre los distintos materiales crecidos en lámina delgada, de gran interés desde el punto de vista de la elección de uno u otro material según la aplicación que se requiera. Palabras clave: ZnO Sputtering reactivo Propiedades ópticas