Fabrication of gas amplification microstructures with SU8 photosensitive epoxy
- Key, M.J.
- Llobera, A.
- Lozano, M.
- Ramos-Lerate, I.
- Seidemann, V.
ISSN: 0168-9002
Datum der Publikation: 2004
Ausgabe: 525
Nummer: 1-2
Seiten: 49-52
Art: Konferenz-Beitrag