Spectroscopic Ellipsometry Study on Tuning the Electrical and Optical Properties of Zr-Doped ZnO Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
- Bohórquez, C.
- Bakkali, H.
- Delgado, J.J.
- Blanco, E.
- Herrera, M.
- Domínguez, M.
ISSN: 2637-6113
Datum der Publikation: 2022
Ausgabe: 4
Nummer: 3
Seiten: 925-935
Art: Artikel