Bonding process using integrated electrothermal actuators for microfluidic circuit fabrication

  1. Franco, E.
  2. Perdigones, F.
  3. Salvador, B.
  4. Quero, J.M.
Revista:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 1361-6439 0960-1317

Año de publicación: 2018

Volumen: 28

Número: 7

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/1361-6439/AABABB GOOGLE SCHOLAR