High phosphorous incorporation in (100)-oriented MP CVD diamond growth

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Zeitschrift:
Diamond and Related Materials

ISSN: 0925-9635

Datum der Publikation: 2023

Ausgabe: 133

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.DIAMOND.2023.109746 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
Datenquelle: Scopus