Microstructural evolution and properties of He-charged a-Si coatings prepared by magnetron sputtering
- Godinho, V.
- Caballero-Hernández, J.
- Lacroix, B.
- Ferrer, F.J.
- Jamon, D.
- Jiménez de Haro, M.C.
- Fernández, A.
Zeitschrift:
Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332
Datum der Publikation: 2024
Ausgabe: 643
Art: Artikel