Física de la Materia Condensada
Departamento
Universidad Autónoma de Baja California
Mexicali, MéxicoPublicaciones en colaboración con investigadores/as de Universidad Autónoma de Baja California (1)
2023
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O3-Annealing Effect on the Etching Resilience of a TiO2/Al2O3 filter Prepared by Atomic Layer Deposition
ACS Applied Materials and Interfaces, Vol. 15, Núm. 34, pp. 40942-40953