Influence of substrate crystallography on the room temperature synthesis of AlN thin films by reactive sputtering

  1. Iriarte, G.F.
  2. Reyes, D.F.
  3. González, D.
  4. Rodriguez, J.G.
  5. García, R.
  6. Calle, F.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Any de publicació: 2011

Volum: 257

Número: 22

Pàgines: 9306-9313

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2011.05.025 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus