Influence of substrate crystallography on the room temperature synthesis of AlN thin films by reactive sputtering

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Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 257

Nummer: 22

Seiten: 9306-9313

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2011.05.025 GOOGLE SCHOLAR
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