Influence of substrate crystallography on the room temperature synthesis of AlN thin films by reactive sputtering

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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Ano de publicación: 2011

Volume: 257

Número: 22

Páxinas: 9306-9313

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2011.05.025 GOOGLE SCHOLAR
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