High quality Al2O3/(100) oxygen-terminated diamond interface for MOSFETs fabrication

  1. Pham, T.T.
  2. Gutiérrez, M.
  3. Masante, C.
  4. Rouger, N.
  5. Eon, D.
  6. Gheeraert, E.
  7. Araùjo, D.
  8. Pernot, J.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Ano de publicación: 2018

Volume: 112

Número: 10

Tipo: Artigo

DOI: 10.1063/1.5018403 GOOGLE SCHOLAR