Optimization of AlN thin layers on diamond substrates for high frequency SAW resonators
- Rodríguez-Madrid, J.G.
- Iriarte, G.F.
- Araujo, D.
- Villar, M.P.
- Williams, O.A.
- Müller-Sebert, W.
- Calle, F.
ISSN: 0167-577X
Any de publicació: 2012
Volum: 66
Número: 1
Pàgines: 339-342
Tipus: Article