Optimization of AlN thin layers on diamond substrates for high frequency SAW resonators

  1. Rodríguez-Madrid, J.G.
  2. Iriarte, G.F.
  3. Araujo, D.
  4. Villar, M.P.
  5. Williams, O.A.
  6. Müller-Sebert, W.
  7. Calle, F.
Aldizkaria:
Materials Letters

ISSN: 0167-577X

Argitalpen urtea: 2012

Alea: 66

Zenbakia: 1

Orrialdeak: 339-342

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.MATLET.2011.09.003 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus