Defect morphology and strain of CVD grown 3C-SiC layers: Effect of the carbonization process

  1. Méndez, D.
  2. Aouni, A.
  3. Morales, F.M.
  4. Pacheco, F.J.
  5. Araújo, D.
  6. Bustarret, E.
  7. Ferro, G.
  8. Monteil, Y.
Zeitschrift:
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

ISSN: 1862-6300,  1862-6319

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 202

Nummer: 4

Seiten: 561-565

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1002/PSSA.200460421 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus