SiC thin films obtained by Si carbonization

  1. Molina, S.I.
  2. Morales, F.M.
  3. Araújo, D.
Revista:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Año de publicación: 2001

Volumen: 80

Número: 1-3

Páginas: 342-344

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0921-5107(00)00661-9 GOOGLE SCHOLAR
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