A methodology for the fabrication by FIB of needle-shape specimens around sub-surface features at the nanometre scale

  1. Hernández-Saz, J.
  2. Herrera, M.
  3. Molina, S.I.
Zeitschrift:
Micron

ISSN: 0968-4328

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 43

Nummer: 5

Seiten: 643-650

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MICRON.2011.11.011 GOOGLE SCHOLAR
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