Comparison of the thickness determined by fresnel contrast and rutherford backscattering spectrometry in ultra-thin layers

  1. Ponce, A.
  2. Molina, S.I.
  3. García-López, J.
  4. Battistig, G.
Libro:
Microscopy of Semiconducting Materials 2003

ISBN: 9781315895536

Año de publicación: 2018

Páginas: 305-308

Tipo: Capítulo de Libro

DOI: 10.1201/9781351074636-71 GOOGLE SCHOLAR
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