Comparison of the thickness determined by Fresnel contrast and Rutherford backscattering spectrometry in ultra-thin layers

  1. Ponce, A.
  2. Molina, S.I.
  3. García-López, J.
  4. Battistig, G.
Büchersammlung:
Design and Nature

ISSN: 1478-0585

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 6

Seiten: 305-308

Art: Konferenz-Beitrag