Morphology and stress control in UHVCVD of 3C-SiC(100) on Si

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Colección de libros:
Materials Science Forum

ISSN: 1662-9752 0255-5476

ISBN: 9780878494422

Año de publicación: 2007

Volumen: 556-557

Páginas: 203-206

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.4028/0-87849-442-1.203 GOOGLE SCHOLAR