Impact of silicon incorporation on the formation of structural defects in AlN
- Hermann, M.
- Furtmayr, F.
- Morales, F.M.
- Ambacher, O.
- Stutzmann, M.
- Eickhoff, M.
Revista:
Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979
Any de publicació: 2006
Volum: 100
Número: 11
Tipus: Article